YS_T 23-1992 硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法.pdf

标准号：YS/T 23-1992
实施状态：已作废
中文名称：硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法
组织分类：YS
中标分类：H21
ICS分类：29.045
标准分类：QT
发布日期：1992-03-09
实施日期：1993-01-01
作废日期：2016-09-01
被替代标准：YS/T 23-2016
代替标准：
归口单位：无
起草单位：上海市有色金属总公司半导体材料厂
范围：本标准规定了根据堆垛层错尺寸测量硅处延层厚度的方法。本标准适用于在<111>,<100>和<110>晶向的硅单晶衬底上生长的硅外延层厚度的测量。
文件格式：PDF
文件大小：196.16KB
文件页数：5
（以上信息更新时间为：2019-05-07）

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