标准号：JB/T 5633-1991
实施状态：已作废
中文名称：单晶炉 能耗分等
组织分类：JB
中标分类：J01
标准分类：QT
发布日期：1991-09-13
实施日期：1992-07-01
作废日期：2017-05-12
归口单位：机械电子工业部机械标准化研究所
起草单位：无锡微电子联合公司
范围：本标准规定了单晶炉能耗分等。本标准适用于电子工业企业直拉式和区熔式硅单晶炉。
文件格式：PDF
文件大小：78.94KB
文件页数：3
（以上信息更新时间为：2019-05-07）
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JB_T 5633-1991 单晶炉 能耗分等.pdf