SJ_T 11131-1997 蒸发镀膜设备基本参数系列.pdf

标准号：SJ/T 11131-1997
实施状态：现行
中文名称：蒸发镀膜设备基本参数系列
英文名称：Basic parameter series of evaporation plating equipment
组织分类：SJ
中标分类：L95
ICS分类：31.020
标准分类：QT
发布日期：1997-09-03
实施日期：1998-01-01
代替标准：SJ 1098-1977;SJ 1099-1977
归口单位：电子工业部标准化研究所
起草单位：成都南光实业股份有限公司
范围：本标准规定了蒸发镀膜设备基本参数系列。本标准适用于极限压力为3×10^(-3)Pa～5×10^(-6)Pa范围内的钟罩式和箱式蒸发镀膜设备。
文件格式：PDF
文件大小：494.17KB
文件页数：4
（以上信息更新时间为：2019-05-02）

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