标准号：SJ/T 10584-1994
实施状态：现行
中文名称：微电子学光掩蔽技术术语
英文名称：Terms of photomasking technology for microelectronics
组织分类：SJ
中标分类：L90
标准分类：QT
发布日期：1994-08-08
实施日期：1994-12-01
归口单位：电子工业部标准化研究所
起草单位：电子工业部标准化研究所
范围：本标准规定了微电子学光掩蔽技术的有关术语。本标准适用于微电子学光掩蔽技术的科研、生产、教学、贸易和技术交流。
文件格式：PDF
文件大小：5.89MB
文件页数：30
（以上信息更新时间为：2019-05-05）
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SJ_T 10584-1994 微电子学光掩蔽技术术语.pdf