SJ_T 10583-1994 气体质量流量控制器通用技术条件.pdf

标准号：SJ/T 10583-1994
实施状态：已作废
中文名称：气体质量流量控制器通用技术条件
英文名称：General specification for gas mass flow controller
组织分类：SJ
中标分类：L98
标准分类：QT
发布日期：1994-08-08
实施日期：1994-12-01
作废日期：2016-09-01
被替代标准：SJ/T 10583-2016
归口单位：电子工业部标准化研究所
起草单位：北京建中机器厂
范围：本标准规定了气体质量流量控制器的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于采用毛细管传热温差量热法原理进行测量的气体质量流量控制器(以下简称控制器)。该控制器广泛应用于半导体集成电路工艺设备、光纤熔炼,以及化工、冶金、卫生等部门。
文件格式：PDF
文件大小：2.79MB
文件页数：16
（以上信息更新时间为：2019-05-05）

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