标准号：SJ/T 31119-1994
实施状态：现行
中文名称：掩模对准曝光机完好要求和检查评定方法
组织分类：SJ
中标分类：L97
标准分类：QT
发布日期：1994-04-15
实施日期：1994-06-01
归口单位：无
起草单位：国营南光机器厂
范围：本标准规定了掩模对准曝光机的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于接触曝光以及同时具备接触曝光和接近曝光功能的掩模对准曝光机。
文件格式：PDF
文件大小：538.37KB
文件页数：3
（以上信息更新时间为：2019-05-05）
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SJ_T 31119-1994 掩模对准曝光机完好要求和检查评定方法.pdf