标准号:SJ/T 31452-1994
实施状态:现行
中文名称:水处理设备完好要求和检查评定方法
组织分类:SJ
中标分类:J88
标准分类:QT
发布日期:1994-04-15
实施日期:1994-06-01
归口单位:无
起草单位:国营华东电子管厂
范围:本标准规定了电子工业元器件生产中水处理设备的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于电子工业企业电子元器件、集成电路制造以及清洗工序用电子级水制造设备。
文件格式:PDF
文件大小:3.19MB
文件页数:16
(以上信息更新时间为:2019-05-05)
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