SJ_T 10458-1993 俄歇电子能谱术和X射线光电子能谱术的样品处理标准导则.pdf

标准号：SJ/T 10458-1993
实施状态：现行
中文名称：俄歇电子能谱术和X射线光电子能谱术的样品处理标准导则
英文名称：Standard guide for specimen handling in auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy
组织分类：SJ
中标分类：A42
标准分类：QT
发布日期：1993-12-17
实施日期：1994-06-01
采用标准：ASTM E-1087,MOD
归口单位：电子工业部标准化研究所
起草单位：天津电子材料研究所
范围：本标准导则适用于俄歇电子能谱术(AES)和X射线光电子能谱术(XPS),也适用于其他表面灵敏分析技术(如离子散射谱术、二次离子质谱术等)。本标准导则可能涉及有害的操作、设备及物质,但没有说明所有相关的安全问题。使用者在使用本导则前,应该制定适当的安全与保健措施,并确定本导则的应用范围。
文件格式：PDF
文件大小：2.27MB
文件页数：10
（以上信息更新时间为：2019-05-05）

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