标准号：SJ/Z 2927-1988
实施状态：现行
中文名称：集成电路制版设备名词术语
组织分类：SJ
中标分类：L97
标准分类：QT
发布日期：1988-03-10
实施日期：1988-10-01
归口单位：无
起草单位：电子工业部第四十五研究所
范围：本指导性技术文件规定的名词术语适用于集成电路光学制版主要设备的研制、使用、测试及验收。
文件格式：PDF
文件大小：2.34MB
文件页数：15
（以上信息更新时间为：2019-05-10）
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SJ_Z 2927-1988 集成电路制版设备名词术语.pdf