SJ 2593-1985 高纯四氯化硅.pdf

标准号：SJ 2593-1985
实施状态：现行
中文名称：高纯四氯化硅
组织分类：SJ
中标分类：H83
标准分类：QT
发布日期：1985-07-31
实施日期：1986-01-01
归口单位：无
起草单位：无
范围：本标准适用于生长半导体器件及集成电路的硅外延片和生产光通讯器件用光纤予制作的四氯化硅。
文件格式：PDF
文件大小：373.90KB
文件页数：3
（以上信息更新时间为：2019-05-11）

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