标准号:SJ 2131-1982
实施状态:现行
中文名称:洁净工作台通用技术条件
英文名称:General specification for clean work stations
组织分类:SJ
中标分类:L96
ICS分类:31.550
标准分类:QT
发布日期:1982-10-04
实施日期:1983-01-01
归口单位:中华人民共和国第四机械工业部
起草单位:苏州净化设备厂
范围:本标准适用于各种电子元器件生产用工艺设备(如光刻、匀胶、扩散等)所配置的能造成局部沽净空气环境的洁净工作台。
文件格式:PDF
文件大小:580.57KB
文件页数:3
(以上信息更新时间为:2019-05-12)
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