标准号：SJ 1794-1981
实施状态：现行
中文名称：半导体器件生产用扩散炉通用技术条件
组织分类：SJ
中标分类：L97
标准分类：QT
发布日期：1981-10-01
实施日期：1981-10-01
归口单位：无
起草单位：无
范围：本标准适用于对半导体器件、集成电路用原材料进行氧化、扩散和其他热处理的扩散炉。本标准未做明确规定的一般技术要求,应按SJ 142-78《电子工业专用设备总技术条件》执行。各类扩散炉的特殊要求,在相应的产品标准中予以规定。
文件格式：PDF
文件大小：901.23KB
文件页数：6
（以上信息更新时间为：2019-05-13）
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SJ 1794-1981 半导体器件生产用扩散炉通用技术条件.pdf