YS_T 1290-2018 多晶硅生产尾气中硅烷含量的测定 气相色谱法.pdf

标准号：YS/T 1290-2018
实施状态：现行
中文名称：多晶硅生产尾气中硅烷含量的测定 气相色谱法
英文名称：Determination of silane content in tail gas of polycrystalline silicon production. Gas chromatographic method
组织分类：YS
中标分类：H17
ICS分类：77.040
标准分类：QT
发布日期：2018-10-22
实施日期：2019-04-01
归口单位：全国有色金属标准化技术委员会
起草单位：内蒙古神舟硅业有限责任公司
范围：本标准规定了硅烷法生产多晶硅尾气中硅烷含量的气相色谱测定方法。本标准适用于硅烷法生产多晶硅尾气中硅烷含量的测定。测定范围为0.05%～10.00%。
文件格式：PDF
文件大小：365.13KB
文件页数：8
（以上信息更新时间为：2019-10-09）

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