CAS 127.6-2009 洁净室及相关受控环境 第6部分_词汇.pdf

标准号：CAS 127.6-2009
实施状态：现行
中文名称：洁净室及相关受控环境 第6部分:词汇
英文名称：Cleanrooms and associated controlled environments. Part 6:Vocabulary
实施日期：2009-09-03
代替标准：CAS 127.6-2005
采用标准：ISO 14644-6-1999,IDT
归口单位：中国标准化协会
起草单位：无
标准简介：本部分给出洁净室和相关受控环境有关的术语和定义,是本系列标准其他部分出现的术语和定义的汇总。本部分也包括了CAS 128.1和CAS 128.2中的术语和定义。
文件格式：PDF
文件大小：963.42KB
文件页数：33
（以上信息更新时间为：2019-10-23）

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