SJ 3248-1989 重掺砷化镓和磷化铟载流子浓度的红外反射测试方法.pdf

标准号：SJ 3248-1989
实施状态：现行
中文名称：重掺砷化镓和磷化铟载流子浓度的红外反射测试方法
英文名称：Methods for measuring carrier concentration of readded Gallium arsenide and Indium phosphide by infra-red reflection
发布日期：1989-03-20
实施日期：1989-03-25
归口单位：中华人民共和国机械电子工业部
起草单位：机械电子工业部第四十六研究所
标准简介：本标准规定了红外反射法测量重掺砷化镓和磷化铟载流子浓度的测量原理、仪器设备、样品制备、测量步骤。结果计算和精度等。本标准适用于测量重掺砷化镓和磷化铟单晶载流子浓度,也适用于测量外延层的载流予浓度。
文件格式：PDF
文件大小：639.06KB
文件页数：4
（以上信息更新时间为：2019-11-15）

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