SJ_T 31083-2016 真空镀膜设备完好要求和检查评定方法.pdf

标准号：SJ/T 31083-2016
实施状态：现行
中文名称：真空镀膜设备完好要求和检查评定方法
英文名称：Vacuum coating equipment requirements of readiness and  methods of inspection assessment
发布日期：2016-01-15
实施日期：2016-06-01
代替标准：SJ/T 31083-1994
归口单位：中国电子技术标准化研究院
起草单位：中国电子科技集团公司第十三研究所
标准简介：本标准规定了真空镀膜设备的完好要求和检查评定方法。本标准适用于BOC700-4/G型真空镀膜设备，其他型号真空镀膜设备可参照执行。
文件格式：PDF
文件大小：3.10MB
文件页数：6
（以上信息更新时间为：2019-03-28）

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