标准号：SJ/T 11638-2016
实施状态：现行
中文名称：电子化学品中颗粒的测试方法
英文名称：Test method of particle in electronic chemicals
发布日期：2016-10-22
实施日期：2017-01-01
作废日期： - -
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：杭州格林达化学有限公司
标准简介：本标准规定了用激光粒子计数法测定液体电子化学品中颗粒的方法。本标准适用于液体电子化学品中颗粒的连续式或单次检测计数，测定的粒径有0.1μm～1.0μm可选。测定的电子化学品的颗粒浓度为（0～10 000）每毫升/个，其他粒径的可参考执行。
文件格式：PDF
文件大小：1014.62KB
文件页数：8
（以上信息更新时间为：2019-03-24）
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SJ_T 11638-2016 电子化学品中颗粒的测试方法.pdf