SJ_T 11634-2016 电子工业用显影液中甲醇的测定 顶空气相色谱法.pdf

标准号：SJ/T 11634-2016
实施状态：现行
中文名称：电子工业用显影液中甲醇的测定 顶空气相色谱法
英文名称：Determination of methanol in electronic industry with the developer Headspace gas chromatography method
发布日期：2016-04-05
实施日期：2016-09-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：杭州格林达化学有限公司
标准简介：本标准规定了用顶空气相色谱法测定电子工业用显影液中甲醇含量的方法。本标准适用于电子工业用显影液中甲醇含量的测定。本方法甲醇最低检测浓度为1 mg/kg。
文件格式：PDF
文件大小：3.51MB
文件页数：7
（以上信息更新时间为：2019-03-27）

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