SJ_T 31080-2016 光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法.pdf

标准号：SJ/T 31080-2016
实施状态：现行
中文名称：光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法
英文名称：Pattern generator for photomask making requirements of readiness and methods of inspection assessment
发布日期：2016-01-15
实施日期：2016-06-01
代替标准：SJ/T 31080-1994
标准简介：本标准规定了光掩模制作用图形发生器的完好要求和检查评定方法。本标准适用于3600F型图形发生器，其他型号图形发生器（如3600型、EM250型等）可参照本标准并结合该设备的具体指标检查评定。
文件格式：PDF
文件大小：2.34MB
文件页数：7
（以上信息更新时间为：2020-06-04）

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