标准号:JB/T 5629-1991
实施状态:废止
中文名称:半导体器件烧结炉 能耗分等
发布日期:1991-09-13
实施日期:1992-07-01
废止日期:2017-06-02
标准简介:本标准规定了半导体器件烧结炉能耗分等。
本标准适用于电子工业企业半导体器件容量大于或等于20kW的烧结炉(以下简称烧结炉),单台或炉群。
文件格式:PDF
文件大小:120.65KB
文件页数:3
(以上信息更新时间为:2020-06-11)
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