标准号：EN 62047-1-2006
实施状态：现行
中文名称：半导体器件.微电机设备.第1部分:术语和定义 IEC 62047-1:2005
英文名称：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices Part 1: Terms and definitions
发布日期：2006-06-01
文件格式：PDF
文件大小：745.23KB
文件页数：28
（以上信息更新时间为：2019-11-30）
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EN 62047-1-2006 半导体器件.微电机设备.第1部分_术语和定义 IEC 62047-1_2005.pdf