ISO 15632-2002 微光束分析.带半导体探测器的能量发散X射线分光仪的仪器规范.pdf

标准号：ISO 15632-2002
实施状态：作废
中文名称：微光束分析.带半导体探测器的能量发散X射线分光仪的仪器规范
英文名称：Microbeam analysis - Instrumental specification for energy dispersive X-ray spectrometers with semiconductor detectors
发布日期：2002-12
被替代标准：ISO 15632-2012
代替标准：ISO/FDIS 15632-2002
采用标准：BS ISO 15632-2002,IDT;GB/T 20726-2006,IDT;NF X21-008-2006,IDT;X21-008PR,IDT
起草单位：ISO/TC 202
标准简介：本标准规定了表征以半导体探测器、前置放大器利信号处理系统为基本构成的X射线能谱仪
（EDS）特性最重要的量值。本标准仅适用于固态电离作原理的半导体探测器EDS。  本标准准只规定了与电子探针（EPMA)或扫描电镜（SEM）此类EDS的的最低要求，至于如何实现分析则不在本标准的规定范围之内。
文件格式：PDF
文件大小：428.18KB
文件页数：11
（以上信息更新时间为：2019-11-23）



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