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GB_T 38867-2020 电子工业用四氯化硅.pdf

 

GB/T 38867-2020 电子工业用四氯化硅:
标准号:GB/T 38867-2020
实施状态:未实施
中文名称:电子工业用四氯化硅
英文名称:Silicon tetrachloride for electronic industry
发布日期:2020-07-21
实施日期:2021-02-01
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管单位:国家标准化管理委员会
文件格式:PDF
文件大小:984.04KB
文件页数:14
(以上信息更新时间为:2020-08-04)

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