SJ_Z 21538-2018 混合集成电路统计过程控制技术实施指南.pdf

本标准规定了混合集成电路制造过程实施统计过程控制（statistical process control，以下简称SPC）技术的方法、主要步骤和相关技术的应用。本标准适用于混合集成电路制造过程实施SPC。

标准编号：SJ/Z 21538-2018
标准中文名称：混合集成电路统计过程控制技术实施指南
标准英文名称：Guide for statistical process control technique implementation of hybrid integrated circuits
标准实施状态：现行
发布日期：2018-12-29
实施日期：2019-03-01
引用标准：GB/T 4091;GJB 548;GJB 3014;GJB 2438
提出单位：工业和信息化部电子第四研究院
标准文本格式：PDF
标准文本大小：41.34MB
标准文本页数：83
（以上信息更新时间为：2020-11-12）

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