标准号：JC/T 2372-2016
实施状态：现行
中文名称：集成电路用石英舟
英文名称：Quartz boats for IC industry
组织分类：JC
中标分类：Q35
ICS分类：81.040.30
标准分类：QT
发布日期：2016-07-11
实施日期：2017-01-01
归口单位：全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会
起草单位：上海华强石英有限公司
范围：本标准规定了集成电路用石英舟的术语和定义、分类和标记、材料、要求、试验方法、检验规则以及标志、清洗、包装、运输和贮存。本标准适用于集成电路制造工艺用8英寸及以下的石英舟制品，包含立式石英舟及卧式石英舟。
文件格式：PDF
文件大小：500.57KB
文件页数：9
（以上信息更新时间为：2019-03-26）
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JC_T 2372-2016 集成电路用石英舟.pdf