JB_T 13872-2020 平面相移干涉仪.pdf

本标准规定了平面相移干涉仪的术语和定义、型式与基本参数、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本标准适用于利用微位移机构检验光学平面的面形偏差和平面平晶平面度的平面相移干涉仪。

标准编号：JB/T 13872-2020
中文名称：平面相移干涉仪
英文名称：Phase shift interferometer for flat
发布日期：2020-04-16
实施日期：2021-01-01
引用标准：GB/T 191;GB/T 2828.1;GB/T 2829;GB/T 6388;GB 7247.1;GB/T 9969;GB/T 13384;GB/T 14436;GB/T 25480
提出单位：中国机械工业联合会
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