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GB_T 17874-2021 电子特气 三氯化硼.pdf

 

GB/T 17874-2021 电子特气 三氯化硼:
标准号：GB/T 17874-2021
中文名称：电子特气  三氯化硼
英文名称：Electronic specialty gas—Boron trichloride
发布日期：2021-10-11
实施日期：2022-05-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会
主管单位：国家标准化管理委员会
文件格式：PDF
文件大小：746.35KB
文件页数：11


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文档封面截图如下：
GB/T 17874-2021 电子特气 三氯化硼
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