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GB_T 40577-2021 集成电路制造设备术语.pdf

 

GB/T 40577-2021 集成电路制造设备术语:
标准号：GB/T 40577-2021
中文名称：集成电路制造设备术语
英文名称：Terminology for integrated circuit（IC）manufacturing equipment
发布日期：2021-10-11
实施日期：2022-05-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管单位：国家标准化管理委员会
文件格式：PDF
文件大小：3.43MB
文件页数：56


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文档封面截图如下：
GB/T 40577-2021 集成电路制造设备术语
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