GB_T 41153-2021 碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法.pdf

标准号：GB/T 41153-2021
中文名称：碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定  二次离子质谱法
英文名称：Determination of boron, aluminum and nitrogen impurity content in silicon carbide single crystal—Secondary ion mass spectrometry
发布日期：2021-12-31
实施日期：2022-07-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管单位：国家标准化管理委员会
文件格式：PDF
文件大小：547.16KB
文件页数：6


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