标准号：GB/T 41325-2022
中文名称：集成电路用低密度晶体原生凹坑硅单晶抛光片
英文名称：Low density crystal originated pit polished monocrystalline silicon wafers for integrated circuit
发布日期：2022-03-09
实施日期：2022-10-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管单位：国家标准化管理委员会
文件格式：PDF
文件大小：557.52KB
文件页数：9
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GB_T 41325-2022 集成电路用低密度晶体原生凹坑硅单晶抛光片.pdf