本规范适用于平均间距为（140~2 000）nm、能观测到衍射现象的一维或二维反射光棚的校准。
标准编号：JJF 1967-2022
中文名称：激光衍射法反射光栅校准规范
英文名称：Calibration Specification for Reflection Gratings by Laser Diffraction
发布日期：2022-04-29
实施日期：2022-10-29
引用标准：GB/T 13962-2009
提出单位：中国计量科学研究院
全文页数：30
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JJF 1967-2022 激光衍射法反射光栅校准规范.pdf