GB_T 42106-2022 纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法.pdf

本文件描述了离子束辐照诱导应变技术构建三维纳米结构与器件的加工方法，主要包括加工原理、材料与设备、环境条件、加工方法。本文件适用于离子束辐照诱导直立纳米线和平面纳米薄膜的空间应变，进而实现三维空间中由一维纳米线和二维纳米薄膜构成的三维纳米结构与器件。

标准编号：GB/T 42106-2022
中文名称：纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法
英文名称：Nanotechnology—Fabrication of three dimensional nanostructures and devices—A strain method induced by ion beam irradiation
发布日期：2022-12-30
实施日期：2023-07-01
引用标准：GB/T 6682
提出单位：中国科学院
全文页数：11


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