GB_T 26111-2023 微机电系统（MEMS）技术 术语.pdf

本文件界定了微机电系统器件及其生产工艺相关的术语和定义。本文件适用于微机电系统领域的研究、开发、评测和应用。

标准编号：GB/T 26111-2023
中文名称：微机电系统（MEMS）技术 术语
英文名称：Micro-electromechanical system technology—Terms
发布日期：2023-05-23
实施日期：2023-09-01
代替标准：GB/T 26111-2010
采用标准：MOD,IEC 62047-1-2016
提出单位：全国微机电技术标准化技术委员会
全文页数：38


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