SJ_T 11504-2015 碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法.pdf

标准号：SJ/T 11504-2015
实施状态：现行
中文名称：碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法
英文名称：Test method for measuring surface quality of polished monocrystalline silicon carbide
组织分类：SJ
中标分类：H83
ICS分类：29.045
标准分类：QT
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
作废日期：    -  -
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所
范围：本标准规定了碳化硅单晶抛光片(以下简称"抛光片")表面质量的目视检验方法。本标准适用于单面或者双面抛光的碳化硅单晶抛光片表面质量的检测。
文件格式：PDF
文件大小：987.93KB
文件页数：8
（以上信息更新时间为：2019-03-31）

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