YS_T 1031-2015 化学气相沉积炉.pdf

标准号：YS/T 1031-2015
实施状态：现行
中文名称：化学气相沉积炉
英文名称：Chemical vapor deposition furnace
组织分类：YS
中标分类：H91
ICS分类：77.180
标准分类：QT
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
作废日期：    -  -
归口单位：全国有色金属标准化技术委员会
起草单位：湖南顶立科技有限公司
范围：本标准规定了化学气相沉积炉的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和合同(或订货单)内容。本标准适用于化学气相沉积。
文件格式：PDF
文件大小：505.09KB
文件页数：10
（以上信息更新时间为：2019-03-31）

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