YS_T 15-2015 硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法.pdf

标准号：YS/T 15-2015
实施状态：现行
中文名称：硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法
英文名称：Test method for thickness of epitaxial layers and diffused layers by angle lap stain
组织分类：YS
中标分类：H21
ICS分类：77.040
标准分类：QT
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
作废日期：    -  -
代替标准：YS/T 15-1991
归口单位：全国有色金属标准化技术委员会
起草单位：南京国盛电子有限公司
范围：本标准规定了测定硅外延层和扩散层厚度的磨角染色法。本标准适用于外延层和扩散层与衬底导电类型不同或两层电阻率相差至少一个数量级的任意电阻率的硅外延层和扩散层厚度的测量,测量范围为1 μm～100 μm。
文件格式：PDF
文件大小：2.61MB
文件页数：7
（以上信息更新时间为：2019-03-31）

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