YS_T 980-2014 高纯三氧化二镓杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法.pdf

标准号：YS/T 980-2014
实施状态：现行
中文名称：高纯三氧化二镓杂质含量的测定  电感耦合等离子体质谱法
英文名称：Derermination of impurities of purity gallium oxide. Inductively coupled plasma-mass spectrmetry
组织分类：YS
中标分类：H17
ICS分类：77.040.30
标准分类：QT
发布日期：2014-10-14
实施日期：2015-04-01
作废日期：    -  -
归口单位：全国有色金属标准化技术委员会
起草单位：峨眉半导体材料研究所
范围：本标准规定了高纯三氧化二镓中杂质元素含量的测定方法。本标准适用于高纯三氧化二镓中钠、镁、钙、钛、钒、铬、锰、铁、镍、钴、铜、锌、锡、铅、铟含量的测定。各元素测定范围为(1×10-6)%～(4×10-5)%。
文件格式：PDF
文件大小：512.29KB
文件页数：10
（以上信息更新时间为：2019-04-02）

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