SJ_T 11450-2013 单晶炉能源消耗规范.pdf

标准号：SJ/T 11450-2013
实施状态：现行
中文名称：单晶炉能源消耗规范
英文名称：Specification for energy consumption norm of silicon single crystal grower
组织分类：SJ
中标分类：L01
ICS分类：31.550
标准分类：QT
发布日期：2013-10-17
实施日期：2013-12-01
归口单位：中国电子技术标准化研究院
起草单位：北京七星华创电子股份有限公司
范围：本标准规定了单晶炉能源消耗指标、计算原则、计算方法和评价原则。本标准适用于装料量为60kg-150kg的单晶炉。
文件格式：PDF
文件大小：7.23MB
文件页数：10
（以上信息更新时间为：2019-04-05）

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