CAS 127.2-2010 洁净室及相关受控环境 第2部分_证明持续符合CAS127.1的检测与监测技术条件.pdf

标准号：CAS 127.2-2010
实施状态：现行
中文名称：洁净室及相关受控环境 第2部分:证明持续符合CAS127.1的检测与监测技术条件
英文名称：Cleanrooms and associated controlled environments. Part1:Specificarions for testing and monitoring to prove continued compliance with CAS 127.1
组织分类：CAS
中标分类：C70
ICS分类：13.040.30
标准分类：QT
发布日期：2010-12-30
实施日期：2010-12-30
作废日期：    -  -
代替标准：CAS 127.2-2005
采用标准：ISO 14644-2-1999,IDT
归口单位：中国标准化协会
起草单位：中国电子系统工程第二建设公司
范围：规定了对洁净室或洁净区进行定期检侧的要求,以证明其持续符合CAS 127.1中规定的空气悬浮粒子浓度等级。这些要求包括CAS 127.1说明的洁净室或洁净区的分级检测。此外,还规定了按本部分要求实施的其他检测项目。可按用户要求实施的可选检测项目,本部分也做了说明。本部分还规定了对洁净室或洁净区(以下简称"设施")进行监侧的要求,以提供其持续符合CAS 127.1中规定的空气悬浮粒子浓度等级的证据。
文件格式：PDF
文件大小：344.37KB
文件页数：12
（以上信息更新时间为：2019-04-10）

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