JB_T 8945-2010 真空溅射镀膜设备.pdf

标准号：JB/T 8945-2010
实施状态：现行
中文名称：真空溅射镀膜设备
英文名称：Vacuum sputtering coating plant
组织分类：JB
中标分类：J78
ICS分类：23.160
标准分类：QT
发布日期：2010-02-11
实施日期：2010-07-01
代替标准：JB/T 8945-1999
归口单位：全国真空技术标准化技术委员会
起草单位：广东中环真空设备有限公司
范围：本标准规定了真空溅射镀膜设备的基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。本标准适用于压力在1×10(-1)Pa～1×10(-3)Pa范围的真空溅射镀膜设备。
文件格式：PDF
文件大小：304.74KB
文件页数：8
（以上信息更新时间为：2019-04-13）

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