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JB_T 10553-2006 真空技术 扩散硅压阻真空计.pdf

 

JB/T 10553-2006 真空技术 扩散硅压阻真空计:
标准号：JB/T 10553-2006
实施状态：现行
中文名称：真空技术 扩散硅压阻真空计
英文名称：Vacuum technology. Piezoresistive silicon chip vacuum gauge
组织分类：JB
中标分类：J78
ICS分类：23.160
标准分类：QT
发布日期：2006-05-06
实施日期：2006-10-01
作废日期：    -  -
归口单位：全国真空技术标准化技术委员会
起草单位：沈阳真空技术研究所
范围：本标准规定了扩散硅压阻真空计的分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装和贮存。
本标准适用于测量压力为(100～1X105)Pa的扩散硅压阻真空计。
文件格式：PDF
文件大小：451.20KB
文件页数：13
（以上信息更新时间为：2019-04-19）

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