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JB_T 10553-2006 真空技术 扩散硅压阻真空计.pdf
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my678.cn
JB_T 10553-2006 真空技术 扩散硅压阻真空计.pdf
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资料大小: 451.2 KB
上传时间: 2010-05-26
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JB/T 10553-2006 真空技术 扩散硅压阻真空计:
标准号:
JB/T 10553-2006
实施状态:
现行
中文名称:
真空技术 扩散硅压阻真空计
英文名称:
Vacuum technology. Piezoresistive silicon chip vacuum gauge
组织分类:
JB
中标分类:
J78
ICS分类:
23.160
标准分类:
QT
发布日期:
2006-05-06
实施日期:
2006-10-01
作废日期:
- -
归口单位:
全国真空技术标准化技术委员会
起草单位:
沈阳真空技术研究所
范围:
本标准规定了扩散硅压阻真空计的分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装和贮存。
本标准适用于测量压力为(100~1X105)Pa的扩散硅压阻真空计。
文件格式:
PDF
文件大小:
451.20KB
文件页数:
13
(以上信息更新时间为:2019-04-19)
标准全文下载:
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