JB_T 6922-2004 真空蒸发镀膜设备.pdf

标准号：JB/T 6922-2004
实施状态：已作废
中文名称：真空蒸发镀膜设备
英文名称：Vacuum evaporation coating plant
组织分类：JB
中标分类：J78
ICS分类：23.160
标准分类：QT
发布日期：2004-10-20
实施日期：2005-04-01
作废日期：2016-03-01
被替代标准：JB/T 6922-2015
代替标准：JB/T 6922-1993
归口单位：全国真空技术标准化技术委员会
起草单位：北京北仪创新真空技术有限责任公司
范围：本标准规定了真空蒸发镀膜设备的型式和基本参数、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存等要求。本标准适用于极限压力在5×10^(-4)Pa～5×10^(-3)Pa范围的真空蒸发镀膜设备(以下简称设备)。
文件格式：PDF
文件大小：482.59KB
文件页数：9
（以上信息更新时间为：2019-04-21）

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