[国家标准] GB/T 38614-2020 基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法

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查看3105 | 回复5 | 2020-5-14 09:55 | 显示全部楼层 |阅读模式
标准号:GB/T 38614-2020
实施状态:未实施
中文名称:基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法
英文名称:Measuring method for nano positioning and scanning stage based on flexible hinge mechanism and piezo actuator
发布日期:2020-04-28
实施日期:2020-11-01
归口单位:全国电子测量仪器标准化技术委员会
主管单位:工业和信息化部(电子)
文件格式:PDF
文件大小:1.62MB
文件页数:15
(以上信息更新时间为:2020-05-14)

标准全文下载:
GB_T 38614-2020 基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法.pdf (1.62 MB)

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