标准号：GB/T 15872-2013
实施状态：现行
中文名称：半导体设备电源接口
英文名称：Power supply interface for semiconductor equipment
组织分类：GB
中标分类：L23
ICS分类：31.220.10
标准分类：CN
发布日期：2013-12-17
实施日期：2014-05-15
代替标准：GB/T 15872-1995
归口单位：全国电子测量仪器标准化技术委员会
起草单位：中国人民解放军空军雷达学院
范围：本标准规定了半导体设备电源接口的供电类别,选择电器附件、导线和电缆的要求等。本标准适用于半导体设备的电源接口。
文件格式：PDF
文件大小：236.74KB
文件页数：8
（以上信息更新时间为：2019-04-05）
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GB_T 15872-2013 半导体设备电源接口.pdf
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