标准号：GB/T 14603-2009
实施状态：现行
中文名称：电子工业用气体 三氟化硼
英文名称：Gases for electronic industry. Boron trifluoride
组织分类：GB
中标分类：G86
ICS分类：71.100.20
标准分类：CN
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-05-01
代替标准：GB/T 14603-1993
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会
起草单位：核工业理化工程研究院
范围：本标准规定了电子工业用三氟化硼的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、贮运及安全要求。本标准适用于以氟气和硼单质为原料,采用直接化合的方法制得并经过纯化制取的三氟化硼;和以氟硼酸钠为原料热分解法制得并经过纯化制取的三氟化硼。主要用于半导体器件和集成电路生产的离子注入和掺杂。
文件格式：PDF
文件大小：486.03KB
文件页数：12
（以上信息更新时间为：2019-04-13）
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GB_T 14603-2009 电子工业用气体 三氟化硼.pdf
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