标准号：SJ 20711-1998
实施状态：现行
中文名称：分步投影曝光机通用规范
英文名称：General specification for step and repeat exposure systems
组织分类：SJ
中标分类：N46
标准分类：QT
发布日期：1998-03-18
实施日期：1998-05-01
被替代标准：
代替标准：
归口单位：中国电子技术标准化研究所
起草单位：电子工业部第四十五研究所
范围：本标准规定了分步投影曝光机(以下简称曝光机)的分类、要求、质最保证规定和交货准备等。本标准适用于超大规范集成电路(VLSI)和专用集成芯片(ASIC)以及其它器件的微细光刻设备。其它类型的曝光机也可参照使用。
文件格式：PDF
文件大小：1.71MB
文件页数：10
（以上信息更新时间为：2019-05-02）
标准全文下载：
SJ 20711-1998 分步投影曝光机通用规范.pdf
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