标准号：GB/T 37049-2018
实施状态：现行
中文名称：电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
英文名称：Test method for the content of metal impurity in electronic grade polysilicon—Inductively coupled-plasma mass spectrometry method
发布日期：2018-12-28
实施日期：2019-04-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管单位：国家标准化管理委员会
文件格式：PDF
文件大小：589.83KB
文件页数：7
（以上信息更新时间为：2020-01-10）
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GB_T 37049-2018 电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法.pdf
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