[电子] SJ 21127-2016 化学机械抛光机通用规范

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查看4227 | 回复2 | 2016-1-22 22:52:39 | 显示全部楼层 |阅读模式
标准号:SJ 21127-2016
实施状态:现行
中文名称:化学机械抛光机通用规范
英文名称:General specification for chemical mechanical polishing equipment
发布日期:2016-01-19
实施日期:2016-03-01
归口单位:工业和信息化部电子第四研究院
起草单位:中国电子科技集团公司第四十八研究所
文件格式:PDF
文件大小:7.77MB
文件页数:19
(以上信息更新时间为:2020-03-13)

标准全文下载:
SJ 21127-2016 化学机械抛光机通用规范.pdf (7.77 MB)
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1565248013 | 2020-5-2 16:14:00 | 显示全部楼层
可惜积分不够
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v22bq2d6t1 | 2020-6-1 04:45:32 | 显示全部楼层
谢谢楼主分享,下载看看
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