标准号:SJ 21127-2016
实施状态:现行
中文名称:化学机械抛光机通用规范
英文名称:General specification for chemical mechanical polishing equipment
发布日期:2016-01-19
实施日期:2016-03-01
归口单位:工业和信息化部电子第四研究院
起草单位:中国电子科技集团公司第四十八研究所
文件格式:PDF
文件大小:7.77MB
文件页数:19
(以上信息更新时间为:2020-03-13)
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