[国家标准] GB/T 39145-2020 硅片表面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法

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查看7718 | 回复3 | 2020-10-22 07:32:56 | 显示全部楼层 |阅读模式
标准号:GB/T 39145-2020
实施状态:未实施
中文名称:硅片表面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
英文名称:Test method for the content of surface metal elements on silicon wafers—Inductively coupled plasma mass spectrometry
发布日期:2020-10-11
实施日期:2021-09-01
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管单位:国家标准化管理委员会
文件格式:PDF
文件大小:670.14KB
文件页数:8
(以上信息更新时间为:2020-10-22)

标准全文下载:
GB_T 39145-2020 硅片表面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法.pdf (670.14 KB)
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guolujie | 2020-10-25 14:19:41 | 显示全部楼层
好好学习,天天向上
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cutienim | 2020-10-26 08:39:28 | 显示全部楼层
下载研究研究
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散人丶火凤 | 2020-11-7 08:17:49 | 显示全部楼层
终于找到了
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