标准号：GB/T 39145-2020
实施状态：未实施
中文名称：硅片表面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
英文名称：Test method for the content of surface metal elements on silicon wafers—Inductively coupled plasma mass spectrometry
发布日期：2020-10-11
实施日期：2021-09-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管单位：国家标准化管理委员会
文件格式：PDF
文件大小：670.14KB
文件页数：8 （以上信息更新时间为：2020-10-22）
