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[国家标准] GB/T 40566-2021 流化床法颗粒硅氢含量的测定脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法

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5 | 2021-11-26 01:13 | 显示全部楼层 |阅读模式

标准号：GB/T 40566-2021
中文名称：流化床法颗粒硅氢含量的测定脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法
英文名称：Granular polysilicon produced by fluidized bed method—Determination of hydrogen—Pulse heating inert gas fusion infrared absorption method
发布日期：2021-10-11
实施日期：2022-05-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管单位：国家标准化管理委员会
文件格式：PDF
文件大小：569.93KB
文件页数：9

标准全文下载（高清）：

GB_T 40566-2021 流化床法颗粒硅氢含量的测定脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法.pdf (569.93 KB)

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